FMS-Z-HI系列工业型全封闭高精度平移台
FMS165Z-100HI FMS165Z-200HI FMS165Z-300HI FMS225Z-200HI FMS225Z-400HI FMS225Z-600HI FMS280Z-600HI FMS280Z-800HI FMS280Z-1000HI 行程覆盖：标准⾏程覆盖100mm-1000mm，其余行程可定制；最小步进距离可达50纳米，可超慢速稳定运行；达5纳米分辨率的光栅尺编码器，反馈能以亚微米的可重复定位精度进行精确定位；超静音位移台，适用于实验室环境与高性能要求的工业场所；承载大，抗疲劳强度使用
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规格参数
| 产品型号 Model | ⾏程(mm) Travel Range | 最⼩步进量(μm) Min. Incremental Motion | 双向重复定位精度(μm) Bi-Direction Repeatability | 最⼤速度(mm/s) Max. Speed | 分辨率(μm) Resolution | 负载(Kg) Load Capacity | 市场价格 Online Price |
| FMS165Z-100HI | 100 | 0.1 | ±0.3 | 500 | 0.02 | 20 | ￥41,500 |
| FMS165Z-200HI | 200 | 0.1 | ±0.3 | 500 | 0.02 | 20 | ￥49,200 |
| FMS165Z-300HI | 300 | 0.1 | ±0.3 | 500 | 0.02 | 20 | ￥57,400 |
| FMS225Z-200HI | 200 | 0.1 | ±0.3 | 500 | 0.02 | 100 | ￥55,000 |
| FMS225Z-400HI | 400 | 0.1 | ±0.3 | 500 | 0.02 | 100 | ￥65,000 |
| FMS225Z-600HI | 600 | 0.1 | ±0.3 | 500 | 0.02 | 100 | ￥75,000 |
| FMS280Z-600HI | 600 | 0.1 | ±0.5 | 500 | 0.02 | 200 | ￥100,000 |
| FMS280Z-800HI | 800 | 0.1 | ±0.5 | 500 | 0.02 | 200 | ￥120,000 |
| FMS280Z-1000HI | 1000 | 0.1 | ±0.5 | 500 | 0.02 | 200 | ￥140,000 |
产品详情
产品特点
·行程覆盖
标准⾏程覆盖100mm-1000mm，其余行程可定制
·最小步进距离可达50nm
可超慢速稳定运行
·达5nm分辨率的光栅尺编码器
反馈能以亚微米的可重复定位精度进行精确定位
·超静音位移台
适用于实验室环境与高性能要求的工业场所
·承载大，抗疲劳强度使用
·免费标准版SDK
Window、Linux环境下支持多种开发语言：C/C++、C#、Matlab、LabVIEW等
·高性能控制器
实现圆弧插补，直线插补，位置记忆任意图形导入
·可选配EtherCAT总线控制
产品应用
·激光切割 Laser Cutting
·激光焊接 Laser Welding
·工业CT Industrial CT
·机械手 Robotic Arm
·半导体 Semiconductor
·自动化设备 Automation Equipment
·锂电池测试设备 Lithium Battery Test Equipment
