
FMSS60P-20压电方台面整体平移台
FMSS60P-20 行程覆盖:标准行程20mm,定制可达100mm;方形台面设计便于二维叠加;高精度G1 or SP级交叉滚柱导轨运⾏精度高;高分辨率的光栅尺编码器,光栅尺分辨率达0.1μm,确保较高的重复定位精度。
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规格参数
产品型号 Model | ⾏程(mm) Travel Range | 最⼩步进量(μm) Min. Incremental Motion | 双向重复定位精度(μm) Bi-Direction Repeatability | 最⼤速度(mm/s) Max. Speed | 分辨率(μm) Resolution | 负载(Kg) Load Capacity | 市场价格 Online Price |
FMSS60P-20 | 20 | 0.001 | ±1 | 5 | 0.0006 | 2 | ¥40,000 |
产品详情
产品特点
·行程覆盖
标准行程20mm,定制可达100mm。
·方形台面设计便于二维叠加
·高精度G1 or SP级交叉滚柱导轨运⾏精度高
·高分辨率的光栅尺编码器
光栅尺分辨率达0.1μm,确保较高的重复定位精度。
·免费标准版SDK
Window、Linux环境下支持多种开发语言:C/C++、C#、Matlab、LabVIEW等。
·高性能控制器
实现圆弧插补,直线插补,位置记忆任意图形导入。
·可选配EtherCAT总线控制
产品应用
·航空航天 Aerospace
·真空应用 Vacuum Application
·样品定位 Sample Positioning