FMSZ-P系列压电电机升降台
FMSZ85P-20 FMSZ115P-50 ⾏程覆盖：20mm、50mm；整体台面升降、断电自锁；开环分辨率纳米级，闭环分辨率0.1μm；免费标准版SDK，Window、Linux环境下支持多种开发语言：C/C++、C#、Matlab、LabVIEW等；高性能控制器，实现圆弧插补，直线插补；可选配EtherCAT总线控制
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规格参数
| 产品型号 Model | ⾏程(mm) Travel Range | 最⼩步进量(μm) Min. Incremental Motion | 双向重复定位精度(μm) Bi-Direction Repeatability | 最⼤速度(mm/s) Max. Speed | 分辨率(μm) Resolution | 负载(Kg) Load Capacity | 市场价格 Online Price |
| FMSZ85P-20 | 20 | 0.3 | ±2 | 5 | 0.1 | 1 | ￥45,000 |
| FMSZ115P-50 | 50 | 0.3 | ±2 | 5 | 0.1 | 1 | ￥68,000 |
产品详情
产品特点
·⾏程覆盖
20mm、50mm
·整体台面升降、断电自锁
·开环分辨率纳米级，闭环分辨率0.1μm
·免费标准版SDK
Window、Linux环境下支持多种开发语言：C/C++、C#、Matlab、LabVIEW等
·高性能控制器
实现圆弧插补，直线插补
·可选配EtherCAT总线控制
产品应用
·真空 Vacuum
·样品台 Sample Stage
·姿态调整 Posture Adjustment
·光学测试 Optical Test
·光学设备 Optical Equipment
